送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
净化工程是在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。GMP车间净化工程净化气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程，即可达到净化目的。
GMP车间净化工程对于乱流式洁净室减少室内污染主要是通过空气的稀释作用来完成的，因此，一般不用速度而是用换气数来说的。但是，对洁净室洁净工程中的气流速度也是有要求，和单纯空调房间相比，送风口的出口处气流不要太大。吹过水平面的气流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。洁净工程中净化效果的如何，要看每步流程是否达标，只有全方面考虑到，才能达到预期的效果。
人是净化间内主要尘源之一。尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。因此，要获得生产环境所需要的空气洁净度等级，对净化间的人员活动进行控制，是有效的途径和措施。要把净化间各项规章制度真正落到实处，关键就是人员的日常管理，把人员净化管理作为首要控制要素，所以应该针对净化间进出人员进行各项培训。 （1）对新入职人员进行净化间洁净知识培训。
（2）对操作人员在净化间操作设备，搬运物料的专项培训。
（3）对所有进出净化间的人员进行衣着穿戴，进出制度的培训。
（4）对所有人员在净化间的日常行为规范的培训。
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